金属氧化物膜电阻在以下性能方面优于金属膜和碳膜:额定功率、额定电压、过载能力、浪涌和高温。设计者经常选择金属氧化物薄膜电阻的高耐久性应用。对于电阻器类型及其性能的概述，请看这里。稳定性性能不如金属薄膜电阻。金属氧化物膜电阻器的阻值低，耐受性差。温度系数约为300ppm /℃，高于金属膜类型。
金属氧化膜电阻器有固定形、轴向电阻器。它们是由陶瓷棒制成的，陶瓷棒上覆盖着一层金属氧化物薄膜，比如氧化锡。不可将金属氧化物薄膜电阻器与用氧化锌或碳化硅制成的金属氧化物电阻器混淆。金属氧化物电阻的电阻材料是被氧化锑污染的氧化锡，这是为了增加电阻率。金属氧化物电阻器比碳或金属薄膜电阻器能承受更高的温度。噪声特性类似于碳电阻。
金属氧化膜电阻器制造工艺比较灵活，不仅可以调整它的材料成分和膜层厚度，也可通过刻槽调整阻值，因而可以制成性能良好，阻值范围较宽的电阻器。金属氧化膜电阻器采用真空蒸发工艺，可以在真空中加热合金，合金蒸发，使瓷棒表面形成一层导电金属膜，刻槽和改变金属膜厚度可以控制阻值。它的耐热性、噪声电势、温度系数、电压系数等电性能比碳膜电阻器优良。
