在电阻组成与中等精密薄膜电阻的情况下，传导结合了隧道穿越玻璃屏障和金属传导。精密薄膜电阻的变化会导致阻值的降低，随之而来的是宏观结构变化引起的阻值的增加，类似于在低片电阻组成中观察到的变化。GF值是稳定的，直到在宏观结构水平上发生退化，并遵循阻力变化曲线的形状。精密薄膜电阻噪声指标值是非常敏感的，可以记录应变厚膜电阻的微观和宏观结构退化。给出了机械和电气同时承受10k ω /sq厚膜电阻的相对电阻、测量因子变化和噪声指数的实验结果。
精密薄膜电阻在应用机械拉伸的情况下，玻璃屏障的宽度正在改变。另一方面，施加电张力会影响玻璃屏障的高度。考虑到当厚膜电阻具有低片电阻时，隧道效应并不是主要的导电机制，因此微观结构变化的缺乏是可以预期的。同时发生的机械和电张力引起宏观结构的变化。高电压脉冲应力导致电阻层可见汽化。它减少电阻的体积，因此显著增加其电阻。由于精密薄膜电阻退化，随着电阻变化曲线的形状变化，仪表因子的变化会增加。噪声指数值与电阻行为一致，并且显著增加，这表明噪声参数对厚膜电阻的结构变化非常敏感，比电阻变化更敏感
精密薄膜电阻为了说明单独的电应变以及同时的机械应变和电应变的影响，给出了10k ω /sq电阻的相对电阻变化的总结图。图中显示了由于微观结构水平的变化而导致的电阻值的下降，可以观察到在受到电张力以及同时受到电和机械张力的厚膜电阻的情况下。精密薄膜电阻玻璃屏障高度不可逆地改变了，从而改变了由于施加高电压处理的屏障阻值。两种应变同时作用时，玻璃屏障受到两种相反的影响:机械应变可逆地影响屏障宽度，而电气应变不可逆地影响屏障高度。这些相反的作用似乎通过延长其失效寿命来提高厚电阻膜承受高压处理的能力。
