薄膜电阻由金属薄膜、碳薄膜和金属氧化物薄膜电阻类型组成，通常是将纯金属(如镍)或氧化膜(如氧化锡)沉积到绝缘陶瓷棒或基板上制成的。电阻的电阻值是通过增加所需要的沉积薄膜厚度来控制的，因此被称为“厚膜电阻”或“薄膜电阻”。
金属薄膜电阻具有比碳电阻更好的温度稳定性，更低的噪音，通常更适用于高频或射频应用。金属氧化物电阻具有比等效金属薄膜电阻更高的额定温度和更好的高冲击电流性能。
另一种类型的薄膜电阻通常被称为厚膜电阻，它是通过在氧化铝陶瓷基板上沉积一种更厚的陶瓷和金属的导电浆糊(称为金属陶瓷)来制造的。金属陶瓷电阻具有类似于金属薄膜电阻的特性，通常用于制作小型表面贴装芯片型电阻，多电阻网络在一个封装pcb和高频电阻。它们具有良好的温度稳定性、低噪声和良好的额定电压，但具有较低的浪涌电流特性。
金属膜电阻前缀有“生产商”符号(如MFR100kΩ)和一个CF碳膜类型。金属薄膜电阻有E24(±5%和±2%的公差)、E96(±1%的公差)和E192(±0.5%、±0.25%和±0.1%的公差)三种，额定功率为0.05(1/20)瓦到1/2瓦。薄膜电阻尤其是金属薄膜电阻是精密低功耗元件。Microhm电子公司的HPMRY, PMRY是广泛使用的金属薄膜电阻。
