低温漂薄膜电阻最新研发电阻生产技术有哪些优势

来源：万利隆电子阅读量：2000发布时间：2019-04-04

低温漂薄膜电阻生产方式有很多，随着科技的进步电阻生产技术有了很大的提高，生产低温漂薄膜电阻也进行电阻技术改革，这种新型方式生产薄膜电阻一般是在干净的玻璃或者陶瓷基底上，依次沉积负电阻温度系数材料层、正电阻温度系数材料层和金属电极层，得到薄膜电阻；对薄膜电阻进行热处理；

热处理后的薄膜电阻的金属电极层进行刻蚀，得到预期图形；再对正电阻温度系数材料层进行刻蚀得到预期线条图案；调整负电阻温度系数材料层、正电阻温度系数材料层的面积，得到温度系数≤±10ppm/℃的低温度系数薄膜电阻；

得低温度系数薄膜电阻上表面制备钝化保护层，通过光刻法刻蚀露出金属电极层，得到低电阻温度系数的薄膜电阻。为了进一步的得到薄膜电阻，通常采用金属电极层的刻蚀为光刻、湿法腐蚀的方法。正电阻温度系数材料层的刻蚀为光刻、离子刻蚀的方法，负电阻温度系数材料层、正电阻温度系数材料层的面积调整通过离子刻蚀和激光调阻的方法；钝化保护层制备通过PECVD沉积的方法。

薄膜电阻的基底为玻璃或陶瓷；基底上为负电阻温度系数材料层，其上设置正温度系数材料层，正温度系数材料层全部或者部分覆盖负电阻温度系数材料层；正温度系数材料层上表面设有金属电极层以及非金属电极层区域的钝化保护层。

低温漂薄膜电阻最新新型生产方法的优点是采用电阻结构采用负电阻温度系数材料层、正电阻温度系数材料层的双层复合薄膜结构，能够灵活调节电阻温度系数，使其具有低电阻温度系数；这种电阻结构采用薄膜工艺，薄膜图形精度高，体积小，此外双层薄膜结构，具有正温度系数的材料层覆盖具有负电阻温度系数的材料层，可以有效提高电阻稳定性，兼顾薄膜电阻的高精度与低温度系数。

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此文关键词：薄膜电阻电阻生产