电阻阻值测试方法中单点测试电阻有那些缺点
来源:万利隆电子 阅读量:2000发布时间:2019-02-13
电阻阻值测试是电阻使用中重要的环节,精确测试出电阻的阻值对应电阻器的使用非常重要,目前很多产品都非常重视电阻的测试,而现阶段的电阻阻值测试方法均为单点测试法,即在测试结构上施加一个电压或者电流,量测出相对应的电流或者电压,然后利用欧姆定律计算出电阻R,那么这种电阻阻值测试有哪些缺点呢,我们分析如下:
单点测试法虽然检测过程简单,但是存在以下两个缺陷:(1)没有考虑测试机台测试性能的稳定性,机台本身量测性能的稳定性会影响到实际的测量值,特别是在小电阻量测过程中有显著的影响,不容忽略。(2)无法直接判断测试结果数据是否受其他异常因素影响,比如探针卡与测试结构的接触问题。
以采用单点检测法的应力迁移测试结构的数据为例,第一次测试电阻为0.27ohm,第二次测试阻值为0.23ohm,两次测试误差0.04ohm,测试误差达到15%,对于其他样品的两次检测中,最大的测试误差达到了19%,最小的测试误差也有13.8%,因此单点检测法难以得到精确且稳定的检测结果。
而随着集成电路工艺多样化发展,电阻生产工艺改进,贴片电阻工艺广泛应用,对电阻测试需要进行可靠性评估的测试结构的电阻值越来越小,而可靠性评估过程,比如应力迁移测试和电迁移测试过程中,对测试结构的电阻测试精度要求越来越高,因此目前的单点测试方法难以满足测试要求。
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