薄膜电阻典型特点精度高和低TCR，以及薄膜电阻整体稳定性好

来源：万利隆电子人气：发布时间：2020-05-22

不同于厚膜电阻，薄膜电阻特点是添加高温制造工艺，薄膜电阻通常是使用减法，溅射沉积工艺制造。后续的制造操作用于调节电阻膜以优化高温性能。薄膜电阻的典型特点是TCR低，精度高，通常可用于网络或多个电阻的封装中。选择的薄膜电阻材料通常是镍铬合金或氮化钽。这两种材料都能耐受高熔点，这往往会导致在高温下更少的微观晶粒生长，并具有很高的抗氧化能力——这是在高温下显著的电阻变化的两个潜在来源。

这两种电阻膜在正常工作温度下都具有良好的电阻稳定性和极低的TCR，在高温下也有一定程度的延续。此外，它们在较宽的温度范围内都具有相对线性的TCR曲线。尽管所示数据是针对镍铬合金金属薄膜电阻，但氮化钽材料也具有类似的特性。该图还说明了一个额外的优点，它演示了公共网络(在本例中为7电阻网络)中电阻之间的紧密TCR跟踪或匹配。

在高温下，显示了DIP网络中薄膜电阻的TCR。薄膜电阻的一个有趣的方面是，在工作的前100到200小时内，总电阻发生了很大的变化(图5)。各种机制，如氧化，金属层的迁移，或金属扩散，都可以导致这种电阻的变化。在高温下，薄膜电阻随时间的变化表明，在前100到200小时的操作过程中，总电阻发生了显著的变化。

然而，薄膜电阻的变化率会随着时间的推移而显著降低，这使得电阻在使用过程中的绝对变化率显著降低，方法是将电阻置于高温烘烤环境中，或者超过使用电阻的温度。电阻变化的减少显示了相似的电阻，但是增加了200°C, 148小时烘烤。在这种情况下，薄膜电阻的变化已经减少到超过1000小时接触不到一半，大大提高了电阻的整体稳定性。

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