薄膜电阻器设计膜孔可以用来优化热导传感器

来源：万利隆电子人气：发布时间：2020-11-10

在薄膜电阻器设计中增加空穴来提高灵敏度的热导式气体传感器。薄膜电阻器建立了数值模型，并针对参考热导传感器进行了验证。这种数值模型用于研究在加热电阻两侧通过膜的隔离孔的优点。这些孔增强了鲁棒性，并将由压力差引起的灾难性故障最小化，同时通过增强对流相互作用提高了灵敏度。

薄膜电阻器这种设计结果表明，电热效率提高了16%，而测量二氧化碳百分比的灵敏度提高了39.2%。研究还表明，增加孔的宽度对这些灵敏度没有显著影响;因此，可以加入小孔，为不同的测量技术在膜上的多个薄膜电阻器留下空间。膜孔可以用来优化热导传感器，并将作为参考，当这些薄膜电阻器设计制作和测试，导致一个新的低功率，高灵敏度的气体传感器。

薄膜电阻器及薄膜电阻器制造方法是一种形成半导体结构，薄膜电阻器接触的至少一个第一接触，以及形成与薄膜电阻器接触的至少一个第二接触.薄膜电阻器被构造和设置为使电流从第一接触通过所述电阻器的中心部分而流到至少一个第二接触.薄膜电阻器包括沿与电流平行的方向从中心部分向外横向延伸的至少一个延伸部.这种方法包括基于这种电阻器的热扩散长度设和延伸部的尺寸.

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