薄膜电阻器设计和实验将有助于设计新一代电阻器
来源：万利隆电子 人气：发布时间：2020-11-13
薄膜电阻器可以应用非常多电子产品，在很多产品设计、制作并测试了通过膜隔离孔的热传感器。这些孔已被证明在流动存在的情况下增强了对导热系数不同的气体的辨别能力。以三个膜上薄膜电阻器为输入，研究线性统计方法与人工神经网络模式识别技术，以单一传感器解耦导热系数与流量两个参数。此外，膜孔的加入使对流速的敏感性提高了10倍，对导热系数的敏感性提高了2倍。这种传感器设计加上著名的后处理技术将使新一代多参数传感解决方案成为可能。
薄膜电阻器采用计算和实验相结合的方法，对一种低功耗热微热膜传感器的几何结构进行了研究和优化。研究了八种不同加热器和膜尺寸的CMOS设计的响应和精度，发现它们的几何形状差异很大。研究发现，减小加热器长度可以提高电热效率，当减小膜的尺寸时，精度会有很大的降低。
薄膜电阻器的模拟表明，这一效应是由于较高的温度梯度，导致局部较强的自然对流流以上的测量电阻。但随着流量的增加，由于强制对流的比例高于自然对流，降低的精度消失。薄膜电阻器设计和实验将有助于设计新一代低成本、低功耗的高精度MEMS热流传感器。
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