晶圆电阻采用切割边缘薄膜材料生产容易引起电阻噪音
来源:万利隆电子 阅读量:2000发布时间:2020-01-16
通常晶圆电阻采用薄膜电阻材料金属生产,这些材料一般为金属薄膜,晶圆电阻生产材料范围内使用非磁性的端盖,这可能是一个有助于晶圆电阻良好的声音的因素。许多电阻器元件使用钢芯导线,因为其导热性较差(与铜相比),降低了相关布线的温升。电流信号在电阻可能造成不利影响的磁性结束帽或电线,但更愿意相信钢铁可能使一个贫穷比铜和热电偶接触影响两端帽在实践中不可能完全取消。不管是什么原因,任何部件的端盖或引线都可以用小磁铁轻松检查。
晶圆电阻采用切割边缘薄膜材料生产,薄膜材料溅射不是一个特别精确的过程,晶圆电阻通常有±10-20%的扩展。现在,端盖已经安装,这是可能的测量电阻和分级成批量棒。这样做的目的是为了确保产品性能的一致性。尽管现在燃料棒有电阻元件,但它的电阻很低,必须加以提高。这是通过切断从一端到另一端的螺旋薄膜,以延长电阻路径,同时使其变窄。如果有更多的螺旋,这使一个更长的,更窄的路径,和电阻的最终电阻是按比例更高,所以电阻制造商称这个参数增益,我们将返回到这个稍后。
传统上,螺旋是由钻石边的圆锯切割的,其切割深度是至关重要的。晶圆电阻材料如果切割太浅,电阻膜就会被不完全除去,留下一些痕迹,在相邻的螺旋线匝间形成桥接。如果切得太深,电锯会损坏陶瓷棒,以后的电阻器会切得很差。这两种缺陷都会造成成品电阻的噪音。
晶圆电阻采用现代技术是使用YAg激光切割螺旋,它能产生更窄、更精确的切割,但即使是这个过程也不是没有缺陷。如果激光引导的能量不足,电阻层就会不完全烧毁,造成桥接。如果从激光接收到的能量太大,那么在切割边缘的电阻薄膜就会被破坏,而且边缘不均匀,这两种缺陷都会引起晶圆电阻噪音。
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